• T/CNIA 0062-2020 电子工业用高纯氢氟酸 现行
    译:T/CNIA 0062-2020 Highly pure hydrofluoric acid for electronic industry
    适用范围:主要技术内容:本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单(或合同)内容及安全。本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸(以下简称高纯氢氟酸)。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等
    【国际标准分类号(ICS)】 :71.060.01无机化学综合 【中国标准分类号(CCS)】 :D40/49有色金属矿
    发布单位或类别:(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间: 2020-05-27 | 实施时间: 2020-08-01