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    适用范围:本标准规定了微结构加工时,光刻版图设计中图形设计应遵循的基本规则。 本标准适用于采用接触式单/双面光刻、氧化扩散、化学气相淀积(CVD)、物理气相淀积(PVD)、离子注入、反应离子刻蚀(RIE)、氢氧化钾(KOH)腐蚀、硅玻璃对准静电结合、砂轮划片等基本工艺方法。
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    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2012-05-11 | 实施时间: 2012-12-01
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    【国际标准分类号(ICS)】 :23.060.99其他阀门 【中国标准分类号(CCS)】 :J16阀门
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    发布单位或类别:(CN-GB)国家标准 | 发布时间: 2012-05-11 | 实施时间: 2012-12-01
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    【国际标准分类号(ICS)】 :97.200.40游乐场 【中国标准分类号(CCS)】 :Y57玩具
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