适用范围：本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

适用范围：本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。

适用范围：本标准规定了金属加工液中禁用物质的清单、限量要求、测定方法以及受控物质清单，暂未规定限用物质的要求。本标准适用于生产和销售的金属加工液。

适用范围：本标准规定了机械产品再制造性的定性、定量评价方法及机械产品再制造性评价流程。本标准适用于再制造企业的机械产品再制造性评价，其设计部门的再制造性设计评价也可参考使用。

适用范围：本标准界定了黑色金属冶炼设备的基本和常用术语，包括：炼焦设备、造块设备、炼铁设备、炼钢设备、连铸设备、检测、控制与智能化设备专业的术语及其定义或释义。 本标准适用于科研、工程设计文件、科技文献、信息等出版物中冶炼设备的称谓。

适用范围：本标准将ISO 6165定义的土方机械的防盗系统分为7个等级，并对每个等级提出了相应的性能准则。本标准对关键文件的管理和防盗系统备件的防盗给出了建议。本标准不适用于定位机器的跟踪系统。

适用范围：本标准规定了土方机械零部件可回收利用性的术语和定义、分类和标识要求。本标准适用于土方机械使用的金属材料类零部件，质量超过100 g的塑料件、质量超过200 g的橡胶件、热塑性弹性体、复合材料及其他非金属材料类零部件。质量小于本标准规定的零部件可参考使用。

适用范围：本标准规定了再制造机械产品拆解过程的一般要求、安全与环保要求、常用的再制造拆解方法和典型连接件的拆解方法。本标准适用于机械产品再制造拆解。

适用范围：本标准规定了机械产品生命周期评价（LCA）的评价阶段及流程、目的和范围确定、清单分析、生命周期影响评价、生命周期解释、报告与鉴定性评审。本标准适用于评价机械产品生命周期或指定阶段潜在的环境影响。

适用范围：本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQCECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件［如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（MicroTAS）和微能源MEMS］。