适用范围：主要技术内容:半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到N12级高纯度的硅材料，原料和中间体的高纯度和生产环境的高洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。极微量的杂质混入对半导体的特性和芯片的良率均会造成极其严重的影响。因而在半导体材料和元件生产过程中对杂质必须进行严格控制。垫片作为螺栓法兰密封组合装置中重要的组成部分，它的密封性能、可靠性和清洁度也同样影响着制程的稳定性和产品质量。密封垫片是半导体硅材料行业得到广泛应用且不可或缺的基础件，但国内外一直没有对用于制造半导体硅材料工艺装置和管道上的密封垫片作出明确的技术要求规范，如密封垫片的类型、质量要求、性能参数、清洁度要求等。为了与现行行业相适应，也避免因垫片质量影响成品质量，特编制本文件。本文件旨在确立半导体硅材料制程装置用密封垫片设计、制造、性能、选用所必须的要求

适用范围：本文件规定了测定柔性石墨填料环密度、摩擦系数、压缩率、回弹率、热失重和硫含量的仪器设备、样品要求、试验步骤及试验结果的计算。本文件适用于柔性石墨填料环的物理、机械性能和硫含量的测试。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了潜水电泵用机械密封的术语和定义、结构型式、工作参数、材料代号及布置方式、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于各种潜水电泵用机械密封（以下简称机械密封）

适用范围：范围:本文件规定了隔爆电缆固定头的术语和定义、型号、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于隔爆电缆固定头 (以下简称“固定头”); 主要技术内容:6技术要求6.1外观固定头的结构应完整、无缺损；无局部未镀满或无镀层；无破坏电镀层的深划痕。6.2尺寸固定头的尺寸应符合样品册及图纸要求。6.3安装扭力6.4耐热耐寒性按7.5的规定，将电缆固定头放入温度95 ℃，湿度90%的环境下持续14天；然后温度150 ℃的高温箱里再保持14天。经过耐热试验的样品，在室温下静置24 h后再进行耐寒试验，在低温-60 ℃的环境下保持24 h。试验完成后，产品的防水圈及垫片应无异常。6.5抗冲击性电气设备经抗冲击试验后不应出现防爆型式失效现象。6.6防护等级固定头处于锁紧状态下，按7.7的规定进行防护等级试验，防护等级应达到IP68。6.7夹紧力经试验过的固定头位移量应≤6 mm。6.8极限扭力经2倍扭力值锁紧迫紧螺帽后，固定头外观应无破坏。6.9静压试验在3 000 KPa下保持至少10 s后吸水纸上应无任何泄露痕迹

适用范围：主要技术内容:本文件规定了机械密封产品加速试验的术语和定义、试验应力组合、试验装置、试样和试验步骤。本文件适用于离心泵及类似旋转机械用机械密封

适用范围：本文件界定了旋转接头的术语和定义。本文件适用于将流体介质由固定管道输送到旋转或摆转到一个角度的管道、设备中的流体动密封装置。

适用范围：主要技术内容:本文件规定了低逸散柔性石墨板（以下简称柔性石墨板）的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及质量承诺。本文件适用于石油化工、航空航天、电力、汽车等工业领域有低逸散要求的柔性石墨板材和柔性石墨带。注：逸散性指任何物理形态的任意化学品或化学品的混合物，其从工业场所的设备中发生的非预期的或隐蔽的泄漏现象。低逸散指泄漏率不大于100 mL/m3的逸散性

适用范围：主要技术内容:本文件规定了贮压式灭火器阀门（以下简称“阀门”）的规范性引用文件、术语和定义、分类与型号、基本要求、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存以及质量承诺。本文件适用于在可重复充装的手提贮压式、推车贮压式灭火器上使用的最大工作压力不超过2.5 MPa、以铜合金材料为主体制造的阀门。本文件不适用于二氧化碳灭火器阀门

适用范围：主要技术内容:本文件规定了永磁电机泵用机械密封的术语和定义、基本型式及工作参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺。本文件适用于输送介质为清水的永磁电机泵用机械密封（以下简称机械密封）

适用范围：主要技术内容:本文件规定了阀杆用低逸散柔性石墨密封填料（以下简称填料）的结构型式和分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存和质量承诺。本文件适用于阀杆用低逸散柔性石墨密封填料。注：任何物理形态的任意化学品或化学品的混合物，其从工业场所的设备中发生的非预期的或隐蔽的泄漏现象称为“逸散性”